发明名称 内存装置以及使用正栅极应力以回复过度擦除存储单元的方法
摘要 一种擦除由多个存储单元(10)所组成的快闪电可擦除只读存储器(EEPROM)装置的方法,包括预编程(100)多个存储单元(10)、施加擦除脉冲(110)至所述的多个存储单元(10)、接着进行擦除检验(120)。擦除检验(120)后接着软编程(135)任何具有阈值电压低于预定最小电位(V<SUB>TMIN</SUB>)的存储单元,并施加正栅极应力(130)至所述的多个存储单元(10)。本擦除方法可防止过度擦除并提供严格的阈值电压分布。
申请公布号 CN1864231A 申请公布日期 2006.11.15
申请号 CN200480028952.9 申请日期 2004.09.16
申请人 先进微装置公司 发明人 D·汉密尔顿;Z·刘;M·W·伦道夫;Y·何;E·夏;K·坦派罗;M·李;A·马达哈尼
分类号 G11C16/34(2006.01);G11C16/04(2006.01) 主分类号 G11C16/34(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;程伟
主权项 1.一种擦除快闪电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)装置的方法,所述的EEPROM装置包括多个存储单元(10),各存储单元(10)具有包含至少第一电荷储存单元(36)和第二电荷储存单元(38)的电荷储存层(28),所述的电荷储存层(28)配置于上电介质层(30)和下电介质层(26)之间,以及配置于所述的上电介质层上的栅电极(32),所述的下电介质层(26)配置于衬底(12)的上,所述的衬底(12)具有邻接所述的第一电荷储存单元(36)的第一导电区(16)和邻接所述的第二电荷储存单元(38)的第二导电区(14),所述的方法包括:(a)施加擦除脉冲(110)至所述的多个存储单元(10);(b)擦除检验(120)所述的多个存储单元(10),以判定在所述的多个存储单元(10)中是否有任何欠擦除存储单元;以及(c)施加正栅极应力(130)于所述的多个存储单元(10),以减少在所述的电荷储存层(28)内的正电荷(40)的数量。
地址 美国加利福尼亚州