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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1647054(B1) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20040748049 申请日期 2004.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 ARITA, KIYOSHI;IWAI, TETSUHIRO;NAKAGAWA, AKIRA
分类号 H01L21/3065;H01L21/68;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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