发明名称 膜体声谐振器和滤波电路
摘要 一种膜体声谐振器,包括第一电极;设置在第一电极上的压电膜;设置在压电膜上、或设置在压电膜上方的第二电极;以及设置在压电膜上并邻靠压电膜的附加膜,附加膜具有至少一对相互不平行的相对边。
申请公布号 CN1862956A 申请公布日期 2006.11.15
申请号 CN200610079076.3 申请日期 2006.04.29
申请人 株式会社东芝 发明人 江渊康男
分类号 H03H3/02(2006.01);H03H9/15(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L41/08(2006.01) 主分类号 H03H3/02(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种膜体声谐振器,包括:第一电极;压电膜,其被设置在所述第一电极上;第二电极,其被设置在所述压电膜上;以及附加膜,其被设置在所述压电膜上并邻靠所述压电膜,所述附加膜具有至少一对相互不平行的相对边。
地址 日本东京都