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摘要
申请公布号
EP0987750(B1)
申请公布日期
2006.11.15
申请号
EP19980911213
申请日期
1998.04.06
申请人
DAINICHI SHOJI K.K.
发明人
ISHIKAWA, TOSHIO;KINPARA, MINEO
分类号
H01L21/68;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
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