片式压电陶瓷频率器件的制造方法

摘要

一种片式压电陶瓷频率器件的制造方法，将装有m×n个振子单元列阵的中间夹板夹在带m×n个列阵凹坑(4)的陶瓷板上盖板和下盖板之间，粘合起来，加热加压、固化，切割成m×n个产品单元。其中的中间夹板(6)上有m×n个列阵的通孔(7)，每个通孔中放入一个压电陶瓷振子片(8)，中间夹板的厚度和压电陶瓷振子片的厚度相一致，中间夹板上每列的n个通孔(7)互相连通，每列通孔中的压电陶瓷振子片首尾相接排成一条。这种方法利用上、下盖板的凹坑和中间夹板上的孔形成振动空腔，上、下盖板和压电陶瓷振子片之间的粘结状态良好，气密性和可靠性高。还省去了昂贵的设备，降低了成本，生产效率也较高。

主权项

1、一种片式压电陶瓷频率器件的制造方法，包括下列步骤：步骤一：根据产品平面尺寸要求，制作两片带m×n个列阵凹坑(4)的陶瓷板(5)作为上盖板和下盖板，在上述陶瓷板上按产品要求用银浆印上内、外电极，再作烧银处理；步骤二：将装有m×n个振子单元的中间夹板夹在上盖板和下盖板之间，上盖板的凹坑面朝下，下盖板的凹坑面朝上，粘合起来；步骤三：将上述粘合后的粘合片加热加压，待粘合剂固化，形成粘合在一起的复合片；步骤四：将复合片按产品尺寸要求，切割成m×n个产品单元；步骤五：在切割后的产品单元的端面蒸发上端面电极(10)，使内电极和外电极导通；其特征是步骤二中所述的中间夹板(6)上有m×n个列阵的通孔(7)，中间夹板的厚度和压电陶瓷振子片的厚度相一致，中间夹板上每列的n个通孔(7)互相连通，上述通孔的互相连通处(11)的宽度与压电陶瓷振子片(8)的宽度相当，每列通孔的两个端部(12)的宽度与通孔连通处(11)的宽度相同，每个通孔中放入一个压电陶瓷振子片(8)，每列通孔中的压电陶瓷振子片首尾相接排成一条。