| 发明名称 | 用于动态表面退火工艺的吸收层 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种处理衬底的方法，包括在衬底上沉积一包括无定形碳的层，然后在足够将该层加热到至少约300℃的温度条件下，将该衬底暴露在具有一种或者多种介于约600nm到约1000nm波长的电磁辐射中。可选的，该层进一步包括选自包含氮、硼、磷、氟或者其组合的组的掺杂剂。一方面，该包括无定形碳的层为一抗反射涂层和吸收电磁辐射并退火该衬底的上表面层的吸收层。一方面，该衬底在激光退火工艺中暴露在电磁辐射中。 | ||
| 申请公布号 | CN1864247A | 申请公布日期 | 2006.11.15 |
| 申请号 | CN200480028747.2 | 申请日期 | 2004.10.01 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 卢克·范·奥特里维;颗里斯·D·本彻;迪安·詹宁斯;梁海凡;阿比斯拉斯·J·玛尤尔;马克·亚姆;温迪·H·耶胡;查理德·A·布拉夫 |
| 分类号 | H01L21/268(2006.01);H01L21/265(2006.01) | 主分类号 | H01L21/268(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1、一种处理衬底的方法，包括：在所述衬底上沉积一包括无定形碳的层；然后在足够将所述层加热到至少约300℃的温度条件下，将所述衬底暴露在电磁辐射中，所述电磁辐射具有一种或者多种介于约600nm到约1000nm波长。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||