| 发明名称 | 划线头和使用该划线头的划线装置以及划线方法 | ||
| 摘要 | 本发明的划线头(1)通过伺服马达(3)的旋转进行划线刀的升降，并将伺服马达(3)的旋转力矩作为划线压力向划线刀传递。当横过划痕划线时，划线压力在穿过划痕时暂时增强。此外，当划线头的刀(6)处于沿着脆性材料基板运动的位置时，伺服马达(3)的旋转力矩被控制成预定的限制值。伺服马达(3)被位置控制。 | ||
| 申请公布号 | CN1863740A | 申请公布日期 | 2006.11.15 |
| 申请号 | CN02814471.6 | 申请日期 | 2002.07.18 |
| 申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 若山治雄;酒井敏行;林敬子;西尾仁孝;松本润一 |
| 分类号 | C03B33/027(2006.01);H01L21/301(2006.01) | 主分类号 | C03B33/027(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张天安;杨松龄 |
| 主权项 | 1.一种划线头，具备在脆性材料基板上形成划痕的划线刀，其特征在于，由伺服马达的旋转来进行划线刀的升降，而且，使伺服马达的旋转力矩作为对划线刀的划线压力传递。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||