发明名称 |
用于平面磁控管的磁体装置 |
摘要 |
本发明涉及一种用于平面磁控管的磁体装置,其中第一磁极包围第二磁极。这种磁体装置在纵向方向朝向靶线性运动一定数值的距离,且随后在相反方向向回移动相同数值的距离。在一个实施例中,产生附加的垂直运动。所述磁体装置被设计成北极与南极交替布置或互锁,且产生波浪形轨道。这样就能够从整个靶表面持续地溅射。 |
申请公布号 |
CN1861836A |
申请公布日期 |
2006.11.15 |
申请号 |
CN200610066906.9 |
申请日期 |
2006.03.30 |
申请人 |
应用薄膜有限公司 |
发明人 |
T·戴裴弛;A·洛普 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01);H01J37/34(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵蓉民 |
主权项 |
1.用于平面磁控管的磁体装置,其中第一磁极被设计成一矩形框架;所述磁体装置包括第二磁极,该第二磁极被设计成一线形棒,且其中该线形棒在其纵轴上有多个垂直臂,其特征在于,两个臂(9、10)各自位于所述棒(2)的端部,并被设置成相对于所述棒(2)的纵轴成约60°角(α)。 |
地址 |
德国阿尔则瑙 |