| 发明名称 |
REDUCTION OF CARROT DEFECTS IN SILICON CARBIDE EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1721031(A1) |
申请公布日期 |
2006.11.15 |
| 申请号 |
EP20040811590 |
申请日期 |
2004.11.18 |
| 申请人 |
CREE, INC. |
发明人 |
O'LOUGHLIN, MICHAEL JOHN;SUMAKERIS, JOSEPH JOHN |
| 分类号 |
C30B29/36;C30B25/02;H01L21/302 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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