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发明名称 CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1218713(B1) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20000965511 申请日期 2000.09.28
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 LUCAS, PAUL, D.;DENNER, JOHN;GRUDZIEN, CHRIS P.;LISCHER, D., JEFFREY;WEIGHT, KRISTEN
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L19/04;G01L19/14 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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