能量线照射装置

摘要

一种能量线照射装置，具有：安装基材(12)的基材用支架(8)；使该基材用支架(8)移动的移动台(9)；以及根据以移动台(9)的基准点作为基准所设定的移动图形使移动台(9)进行移动、在基材(12)上形成由电子束(B)所产生的照射图形的总控制部(11)，基材用支架(8)具有：载置基材(12)的支架本体(21)；以及在使基材(12)的外缘或内缘上的一部分的区域和基材(12)的照射图形形成区域露出的状态下、对基材(12)进行夹持的盖体(22)，总控制部(11)根据基材(12)的露出的外缘或内缘上的一部分的轮廓，算出基材(12)的中心，并根据以该中心作为基准点的移动图形，使移动台(9)移动。即使在圆盘状基材位置偏移的状态下被安装在基材用支架上时，也能在圆盘状基材上正确地形成照射图形。

主权项

1、一种能量线照射装置，其特征在于，具有：安装圆盘状基材的基材用支架；使该基材用支架移动的移动台；向安装于所述基材用支架上的所述圆盘状基材的表面照射能量线的能量线照射机构；以及根据将在所述移动台上预先规定的基准点作为基准所设定的移动图形、通过使该移动台进行移动而在所述圆盘状基材的表面上形成因所述能量线的照射所产生的照射图形的控制部，所述基材用支架具有：载置所述圆盘状基材的支架本体；以及在使所述圆盘状基材的外缘或内缘上的至少一部分的区域和该圆盘状基材上的所述照射图形的形成区域露出的状态下、在与所述支架本体之间对该圆盘状基材进行夹持的压板，所述控制部，根据所述圆盘状基材上的所述露出的所述外缘或内缘上的至少一部分的轮廓，算出该圆盘状基材的中心，并根据以该算出后的中心作为所述基准点的所述移动图形，使所述移动台进行移动。