| 发明名称 | 新型超高真空原位生长、表征和测试系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型超高真空原位生长、表征和测试系统，包括：MBE生长室、样品分析室、STM室和减震台，减震台包括三条空气腿、三个钢罩和三角形支架，钢罩垂直安装在三角形支架的三个角上，钢罩为半包围形，并分别套装三条空气腿上，三角支架上在靠近三个角的位置上分别还安装有支撑板，MBE生长室、样品分析室和STM室设置在该支撑板上，支撑板距地的高度低于空气腿的高度；MBE生长室与样品分析室之间以及样品分析室与STM室之间分别通过闸板阀和金属波纹管真空密闭相连。本实用新型实现了样品的生长、分析、表征和测试等功能，同时作为个体又彼此独立不受干扰，可充分发挥其特定的功能。 | ||
| 申请公布号 | CN2837831Y | 申请公布日期 | 2006.11.15 |
| 申请号 | CN200520132651.2 | 申请日期 | 2005.11.11 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 王健;梁学锦;蔡伟伟;刘慧;陈东敏;薛其坤 |
| 分类号 | G01N13/12(2006.01);G01N1/28(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G01N13/12(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 1、一种新型超高真空原位生长、表征和测试系统，其特征在于，包括：MBE生长室、样品分析室、STM室和减震台，所述减震台包括三条空气腿、三个钢罩和三角形支架，钢罩垂直安装在三角形支架的三个角上，所述钢罩为半包围形，并分别套装所述三条空气腿上，所述三角支架上在靠近三个角的位置上分别还安装有支撑板，所述MBE生长室、样品分析室和STM室设置在该支撑板上，所述支撑板距地的高度低于所述空气腿的高度；所述MBE生长室与所述样品分析室之间以及所述样品分析室与所述STM室之间分别通过闸板阀和金属波纹管真空密闭相连。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村南三街8号 | ||