体声波传感器

摘要

本发明描述了一种包括衬底1和至少一个谐振器的传感器，所述谐振器包括声反射器2、压电层5、第一和第二电极3，4和传感层(6)，其中第一和第二电极3，4被放置在压电层5的相同侧。传感层通过吸收、吸附、解吸或化学反应与化学剂或生物制剂起反应。结果，谐振器的单独频率变化并且可以得到关于所述化学剂或生物制剂的结论。这些传感器对被检测的作用剂很敏感，特别当用于液体中时。

主权项

1.一种包括衬底(1)和至少一个谐振器的传感器，所述谐振器包括声反射器(2)、第一和第二电极(3，4)、压电层(5)、和传感层(6)，其中第一和第二电极(3，4)被放置在压电层(5)的相同侧。