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发明名称 METHOD AND SYSTEM TO MEASURE CHARACTERISTICS OF A FILM DISPOSED ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1721120(A2) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20050722971 申请日期 2005.02.14
申请人 MOLECULAR IMPRINTS, INC. 发明人 MCMACKIN, IAN, M.;SCHUMAKER, PHILIP, D.;CHOI, BYUNG-JIN;SREENIVASAN, SIDLGATA, V.;WATTS, MICHAEL, P., C.
分类号 G03F7/20;B81C1/00;B81C99/00;G01N21/84;G01N21/956;G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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