一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器

摘要

本发明涉及一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器，属于高电压测量技术领域。采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，互相平行的两段光波导上设置三个顶部带有凸起的门字形电极天线，三个门字形电极天线互相平行横跨在互相平行的两段光波导上。本发明的光电集成传感器，可测量强电场信号的幅值、频率、相位等信息；光电集成传感器中金属元件尺寸较小，对被测电场的影响很小，位置分辨能力强。传感器中采用光波导进行信号传输，无需使用电源，因此适合高电压区域的测量；响应速度快、灵敏度高，因此大大提高了测量频率范围和响应速度。

主权项

1、一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器，其特征在于采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，互相平行的两段光波导上设置三个顶部带有凸起的门字形电极天线，三个门字形电极天线互相平行横跨在互相平行的两段光波导上。