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发明名称 Multiple coil antenna for inductively-coupled plasma generation systems
摘要
申请公布号 KR100645469(B1) 申请公布日期 2006.11.13
申请号 KR20007015009 申请日期 2000.12.29
申请人 发明人
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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