发明名称 光罩盒
摘要 一种光罩盒,此光罩盒包括盒体、上盖与前盖。盒体包括底板、第一侧板、第二侧板、第三侧板、第一定位板与第二定位板。第一侧板与第二侧板相对配置于底板上。第三侧板配置于底板上且连接第一侧板与第二侧板。第一定位板与第二定位板配置于第一侧板与第二侧板之间的底板上,且分别位于第一侧板与第二侧板旁。第一定位板具有第一沟槽,而第二定位板具有第二沟槽。第二沟槽与第一沟槽相对,且第一沟槽与第二沟槽之延伸方向垂直于底板。上盖与盒体枢接。前盖与上盖枢接。
申请公布号 TWM300867 申请公布日期 2006.11.11
申请号 TW095208348 申请日期 2006.05.16
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 朱福盛;杜德洪
分类号 H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种光罩盒,包括:一盒体,包括:一底板;一第一侧板与一第二侧板,相对配置于该底板上;一第三侧板,配置于该底板上且连接该第一侧板与该第二侧板;以及一第一定位板与一第二定位板,配置于该第一侧板与该第二侧板之间的该底板上,且分别位于该第一侧板与该第二侧板旁,其中该第一定位板具有一第一沟槽,而该第二定位板具有一第二沟槽,该第二沟槽与该第一沟槽相对,且该第一沟槽与该第二沟槽之延伸方向垂直于该底板;一上盖,与该盒体枢接;以及一前盖,与该上盖枢接。2.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,更包括多个基座,配置于该底板上。3.如申请专利范围第2项所述之光罩盒,其中该基座的材料包括聚醚醚酮。4.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,更包括多个第三定位板,配置于该底板上,且位于该第二侧板旁。5.如申请专利范围第4项所述之光罩盒,其中该第三定位板的材料包括丙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物。6.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该底板的材料包括铝。7.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该上盖的材料包括透明的丙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物。8.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该前盖的材料包括丙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物。9.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该第一沟槽与该第二沟槽的宽度为35mm。10.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该第一侧板与该第二侧板的材料包括丙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物。图式简单说明:图1为习知一种光罩盒之示意图。图2为依照本创作实施例所绘示的光罩盒之示意图。图3A为左右夹取式的光罩夹之示意图。图3B为前后夹取式的光罩夹之示意图。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号