| 主权项 |
1.一种发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,属于在含有氟化氢的混合溶融盐所成的电解浴,作为阳极使用碳电极进行电解而发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其特征为:测定将一定电流施加于上述气体发生装置时的阴极,阳极间的电压变动幅,按照上述电压变动幅一面变动投入电流量一面施加电流。2.一种发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,属于在含有氟化氢的混合溶融盐所成的电解浴,作为阳极使用碳电极进行电解而发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其特征为:测定将一定电流施加于上述气体发生装置时的阴极,阳极间的电压变动幅,按照上述电压变动幅一面变动投入电流量一面施加电流一直到目标作业电流。3.如申请专利范围第2项所述的发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其中,为了施加电流一直到上述目标作业电流之后也再继续电解,测定阳极,阴极间的电压变动幅,按照上述电压变动幅来变动投入电流量。4.如申请专利范围第2项或第3项所述的发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其中,一面重复增加,减少或维持投入电流量一面施加电流一直到设定値。5.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所述的发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其中,一次所施加的电流量,对于有效于阳极电极上的电解的表面积为5 A/dm2以下者。6.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所述的发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法,其中,具有复数独立电源。7.一种发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置,其特征为具备:用以电解含有氟化氢的混合溶融盐所成的电解浴的碳电极;将电流施加于阳极,阴极间的定电流电源;被连接于上述定电流电源,且控制所施加的电流的电流控制手段;计测从开始电解电流施加的时间的第一计测手段;经过依上述第一计测手段的所定时间后,测定阳极,阴极间的电压变动値的电压测定手段;计测上述电压变动幅的测定时间的第二计测手段;以及依据上述阳极与阴极间的电压变动幅,来决定其次需施加的电流量的电流决定手段。8.如申请专利范围第7项所述的发生氟气或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置,其中,上述定电流电源是复数。图式简单说明:第1图是表示本发明的气体发生装置的一实施形态的主要部的模式概略图。第2图是表示用以说明本发明的气体发生装置的施加电流与电压的关系的图式。第3图是表示用以说明电流施加至电极的工程的流程图。第4图是表示用以说明本发明的气体发生装置的其他实施形态例的图式。 |
