| 主权项 |
1.一种统计制程管制图之自动产生系统,包括:一个储存装置,用以储存一个反应室管理树、一个制程配方窗框管理树、一个参数组态资料表、多笔图表基本资料记录,其中上述反应室管理树储存机台类别、制造机台及机台反应室中之至少两者之间之关系,上述制程配方窗框管理树储存机台类别、制程配方及取样窗框中之至少两者之间之关系,上述参数组态资料表储存制造机台、制程参数及统计演算法中之至少两者之间之关系;以及一个资料取得模组,用以取得多个制程事件以及多个相应于上述制程事件之一个制程参数及其参数値,依据上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树及上述参数组态资料表选择相应于上述参数値之上述统计演算法,使用上述统计演算法计算上述参数値以取得一个统计値,若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录不存在,则建立一个新图表基本资料记录,建立关联于上述新图表基本资料记录之一个第一参数统计记录,并且储存上述统计値于上述第一参数统计记录。2.如申请专利范围第1项所述之统计制程管制图之自动产生系统,其中上述资料取得模组更判断若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录存在,则建立关联于上述图表资本资料记录之一个第二参数统计记录,并且储存上述统计値于上述第二参数统计记录。3.如申请专利范围第1项所述之统计制程管制图之自动产生系统,更包括一个组态模组,用以修改上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树以及上述参数组态资料表。4.如申请专利范围第3项所述之统计制程管制图之自动产生系统,其中上述组态模组包含一个第一图形使用者介面,以利于维护上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树以及上述参数组态资料表。5.如申请专利范围第1项所述之统计制程管制图之自动产生系统,更包括一个统计制程管制图显示模组,用以依据上述图表基本资料记录及上述参数统计记录显示上述统计制程管制图。6.如申请专利范围第5项所述之统计制程管制图之自动产生系统,其中上述统计制程管制图显示模组更包含一个第二图形使用者介面,以利于选择上述统计制程管制图。7.如申请专利范围第2项所述之统计制程管制图之自动产生系统,更包括一个统计制程管制图显示模组,用以依据上述图表基本资料记录及上述参数统计记录显示上述统计制程管制图。8.如申请专利范围第7项所述之统计制程管制图之自动产生系统,其中上述统计制程管制图显示模组包含一个第二图形使用者介面,以利于选择上述统计制程管制图。9.一种统计制程管制图之自动产生方法,其方法包括使用一个电脑以执行下列步骤:取得相应于多个制程事件及相应于上述制程事件之一个制程参数及其参数値;依据一个反应室管理树、一个制程配方窗框管理树、一个参数组态资料表、上述制程事件及上述制程参数选择相应于上述参数値之一个统计演算法,其中上述反应室管理树储存机台类型、制造机台及机台反应室中之至少两者之间之关系,上述制程配方窗框管理树储存机台类型、制程配方及取样窗框中之至少两者之间之关系,上述参数组态表储存机台类型、制程参数及统计演算法中之至少两者之间之关系;若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录不存在,则建立一个新图表基本资料记录,建立关联于上述新图表基本资料记录之一个第一参数统计记录;以及储存上述统计値于上述第一参数统计记录。10.如申请专利范围第9项所述之统计制程管制图之自动产生方法,更包括下列步骤:若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录存在,则建立关联于上述图表基本资料记录之一个第二参数统计记录;以及储存上述统计値于上述第二参数统计记录。11.如申请专利范围第9项所述之统计制程管制图之自动产生方法,更包括一个步骤,建立上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树以及上述参数组态资料表。12.如申请专利范围第11项所述之统计制程管制图之自动产生方法,其中在建立上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树及上述参数组态表之步骤中,透过一个第一图形使用者介面建立上述管理树、上述制程配方窗框管理树及上述参数组态资料表。13.如申请专利范围第9项所述之统计制程管制图之自动产生方法,更包括一步骤,依据上述图表基本资料记录及上述参数统计记录绘制上述统计制程管制图。14.如申请专利范围第13项所述之统计制程管制图之自动产生方法,其中在绘制上述统计制程管制图之步骤中,透过一个第二图形使用者介面选择上述统计制程管制图。15.如申请专利范围第10项所述之统计制程管制图之自动产生方法,更包括一个步骤,依据上述图表基本资料记录及上述参数统计记录绘制上述统计制程管制图。16.如申请专利范围第15项所述之统计制程管制图之自动产生方法,其中在绘制上述统计制程管制图之步骤中,透过一个第二图形使用者介面选择上述统计制程管制图。17.一种电脑可读取储存媒体,用以储存一组电脑程式,上述电脑程式用以实现统计制程管制图之自动产生方法,其方法包含下列步骤:取得多个制程事件以及多个相应于上述制程事件之一个制程参数及其参数値;依据一个反应室管理树、一个制程配方窗框管理树、一个参数组态资料表、上述制程事件及上述制程参数选择相应于上述参数値之一个统计演算法,其中上述反应室管理树储存机台类型、制造机台及机台反应室中之至少两者之间之关系,上述制程配方窗框管理树储存机台类型、制程配方及取样窗框中之至少两者之间之关系,上述参数组态资料表储存机台类型、制程参数及统计演算法中之至少两者之间之关系;若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录不存在,则建立一个新图表基本资料记录,建立关联于上述新图表基本资料记录之一个第一参数统计记录;以及储存上述统计値于上述第一参数统计记录。18.如申请专利范围第17项所述之电脑可读取储存媒体,其中之方法更包括下列步骤:若相应于上述制程事件及上述制程参数之上述图表基本资料记录存在,则建立关联于上述图表基本资料记录之一个第二参数统计记录;以及储存上述统计値于上述第二参数统计记录。19.如申请专利范围第17项所述之电脑可读取储存媒体,其中之方法更包括一个步骤,建立上述反应室管理树、上述制程配方窗框管理树以及上述参数组态资料表。20.如申请专利范围第17项所述之电脑可读取储存媒体,其中之方法更包括一步骤,依据上述图表基本资料记录及上述参数统计记录绘制上述统计制程管制图。图式简单说明:第1图系表示依据本发明实施例之统计制程管制图之自动产生系统之系统架构图;第2图系表示依据本发明实施例之统计制程管制图之自动产生系统中之分析装置硬体架构图;第3图系为依据本发明实施例之瓦应室管理树示意图;第4图系表示依据本发明实施例之制程配方窗框管理树示意图;第5图系表示依据本发明实施例之参数组态资料表示意图;第6图系表示依据本发明实施例之范例统计制程管制图;第7图系表示依据本发明实施例之统计制程管制图群组示意图;第8图系表示依据本发明实施例之统计制程管制图之自动产生方法之方法流程图;第9图系表示依据本发明实施例之统计制程管制图之自动产生方法之电脑可读取储存媒体示意图。 |
