发明名称 真空闸阀
摘要 本发明系有关于一种真空闸阀,尤指一种可气密隔绝或导通两真空腔之真空闸阀,系利用连动杠杆机构将纵向之线性动力转换为开关阀门所需之纵向力与横向力,以提供足以抗衡两真空腔间压力差之横向力,同时避免阀门的气密环(O-ring)于开关操作时磨损,并使已关闭之阀门于无动力时亦能确保气密隔绝两真空腔的状态,更且本发明之一种真空闸阀使用廉价的挠性气密管,可降低真空引入装置成本。
申请公布号 TWI266016 申请公布日期 2006.11.11
申请号 TW094120030 申请日期 2005.06.16
申请人 矶光显示科技股份有限公司 发明人 陈华夫
分类号 F16K3/02(2006.01) 主分类号 F16K3/02(2006.01)
代理机构 代理人 罗行 台北市信义区东兴路37号9楼;侯庆辰 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项 1.一种真空闸阀,其包括:一阀体,其一端与一阀盒接合,且该阀体设有一动力单元;一连动板,其两端活动枢设于该阀体之两侧,且该连动板与该动力单元枢接;一传动单元,其包括一挠性气密管与一传动杆,该挠性气密管封包该传动杆之一动力端与一阀门端间之部分,该动力端突出挠性气密管之一活动端,以设于该连动板,且挠性气密管另一端之一固定端固设于阀体与该阀盒接合之一端,使传动杆之该阀门端经设于阀体之一支点孔突入阀盒内;以及一阀门,系设于阀盒内传动杆之阀门端,且该阀门朝向阀体的一正面设有位于单一平面上之一气密凸缘。2.如申请专利范围第1项所述之真空闸阀,其中,该连动板更包括两端枢设于该阀体两侧之一推力板与一连动结构板,该连动结构板位于该推力板朝向该阀盒之一面,推力板上设有一第一枢纽部与一第二枢纽部,第一枢纽部位于推力板与阀体枢接之一枢轴直线上,以与该动力单元枢接,第二枢纽部位于推力板上该枢轴直线之一侧,以与连动结构板之一面枢接,该挠性气密管之该活动端设有两端枢设于该阀体两侧之一摇摆装置,系位于连动板与该挠性气密管间,且该传动杆之该动力端设于连动结构板。3.如申请专利范围第2项所述之真空闸阀,其中,该推力板与该连动结构板之两端分别枢设有一推力板导轮与一连动结构板导轮,系嵌入设于该阀体两侧之一第一导槽内,使推力板与连动结构板可作朝向或背向该阀盒之一纵向运动,该摇摆装置设有一摇摆装置导轮,系嵌入设于阀体两侧之一第二导槽内,使该摇摆装置可作朝向或背向阀体之该正面之一横向运动。4.如申请专利范围第3项所述之真空闸阀,其中,该第一导槽于该阀体朝向该阀盒之一端具有一弯曲槽端,使该连动结构板可朝向或背向该阀体的该正面作一横向运动,且该连动结构板导轮可进入该弯曲槽端形成该连动板之一稳定栓锁态。5.如申请专利范围第1项所述之真空闸阀,其中,该动力单元更包括一气压缸,其具有一活塞杆,该活塞杆之一端枢设于该连动板。6.如申请专利范围第1项所述之真空闸阀,其中,该阀盒内设有一阀孔,该阀孔边缘背向该阀体的该正面之一面具有一内阀接面,该阀盒于朝向与背向阀体的正面之两面设有两个真空腔接合面。7.如申请专利范围第2项所述之真空闸阀,其中,该阀体上该正面设有一导轮挡板,且该推力板于该枢轴直线上更设有至少一提供反向力之导轮,可与该导轮挡板接触滚动。8.如申请专利范围第1项所述之真空闸阀,其中,该阀门设有一环形沟槽与嵌入其中之一气密环,以形成该气密凸缘。图式简单说明:第一A图系楔型真空闸阀之示意图。第一B图系楔型真空闸阀的阀门之示意图。第二A图系平行四边型真空闸阀之示意图。第二B图系平行四边型真空闸阀的阀门之示意图。第三图系VAT真空闸阀之示意图。第四图为本发明之一种真空闸阀较佳实施例的立体示意图。第五图为本发明之一种真空闸阀较佳实施例的分解示意图。第六图为本发明之一种真空闸阀较佳实施例的剖面示意图。第七A图为本发明之一种真空闸阀上述较佳实施例之应用立体图。第七B图为本发明之一种真空闸阀上述较佳实施例之应用侧视图。第七C图为本发明之一种真空闸阀上述较佳实施例之应用正视图。第八A图为本发明之一种真空闸阀应用于阀门宽度较大时之实施例的立体示意图。第八B图为本发明之一种真空闸阀应用于阀门宽度较大时之实施例的正视示意图。
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