发明名称 探针头,其装配方法及探针卡
摘要 一种滑动单元于一平台之平坦滑动平面上滑动,以沿着一平行于该平坦滑动平面之方向来调整复数个滑动单元之相对位置。即便该滑动单元与一可移动单元一同沿平行于该平坦滑动平面之方向移动,复数个可移动单元沿垂直于该平坦滑动平面之方向之相对位置仍不会改变。藉由在该平台之平坦滑动平面上滑动该滑动单元及沿垂直于一滑动平面之方向上移动该可移动单元,可在平行且垂直于该平坦滑动平面之方向上分别独立地调整安装于该等可移动单元上之复数个探针之相对位置。
申请公布号 TWI266058 申请公布日期 2006.11.11
申请号 TW093103968 申请日期 2004.02.18
申请人 山一电机股份有限公司 发明人 泽田修一;土江雅也
分类号 G01R1/073(2006.01) 主分类号 G01R1/073(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种探针头,其包括:一具有一平坦滑动平面之平台;复数个滑动单元,每一滑动单元具有一滑动表面用于在该平坦滑动平面上滑动;一提升单元,其提供给每一该滑动单元,该提升单元可沿一垂直方向移动;若干探针,其提供给每一该提升单元,每一该等探针之顶端从该提升单元伸出;及定位装置,其用于相对于该滑动单元定位该提升单元以及相对于该平台定位该滑动单元。2.根据申请专利范围第1项之探针头,其中该提升单元包括:一可移动单元,其可沿相对于该滑动表面垂直之方向上移动;以及一支撑单元,其固定至该可移动单元并装设有该等探针。3.根据申请专利范围第1项之探针头,其中:该提升单元包括:一可移动单元,其与该滑动单元形成为整体且其一端连接至该滑动单元而另一端为一自由端;以及一支撑单元,其固定至该可移动单元并安装有该等探针;以及该定位装置包括一旋入该滑动单元之螺钉,该滑动单元用于沿一远离该滑动表面延伸之方向及一靠近该滑动表面延伸之方向移动该可移动单元。4.根据申请专利范围第1项之探针头,其中:该提升单元包括:一可移动单元,其藉由该滑动单元枢转支撑;以及一支撑单元,其固定至该可移动单元并安装有该等探针;以及该等定位装置包括一旋入该滑动单元之螺钉,该滑动单元用于沿一远离该滑动表面延伸之方向及一靠近该滑动表面延伸之方向移动该可移动单元。5.根据申请专利范围第1项之探针头,其中该滑动单元包括导向装置,其用于沿一相对该滑动表面倾斜之方向上滑动引导该提升单元。6.根据申请专利范围第5项之探针头,其中该提升单元包括:一可移动单元,其用于沿相对该滑动表面倾斜之方向上藉由该滑动装置导引而滑动;一支撑单元,其安装有该等棵针;以及一啮合单元,其用于使该支撑单元与该可移动单元可分离地啮合。7.根据申请专利范围第1项之探针头,其进一步包括插入该提升单元与该滑动单元之间之一弹性元件,其中该定位装置包括一旋入该提升单元及该滑动单元之螺钉。8.根据申请专利范围第1项之探针头,其中将该平台固定至一电连接至该等探针之印刷电路板上。9.一种用于申请专利范围第1项所述之探针头之组装方法,其包括以下步骤:沿相对该滑动表面垂直之方向上移动该提升单元,以确定该提升单元相对该滑动单元之位置;以及在该平坦滑动平面上滑动该滑动单元,以确定该滑动单元相对该平台之位置。10.一种探针卡,其包括:一印刷电路板;一支撑单元,其位置系相对该印刷电路板而决定;藉由该支撑单元所支撑之若干探针;调整装置,其用于调整该支撑单元相对该印刷电路板之位置或姿态;以及若干电线,其将该等探针电连接至该印刷电路板之电极。11.一种探针卡,其包括:一印刷电路板;一支撑单元,其位置系相对该印刷电路板而决定;藉由该支撑单元支撑之若干探针;调整装置,其用于调整该支撑单元相对该印刷电路板之位置或姿态;以及一具有若干浮动导线之柔性印刷电路板,该等浮动导线之顶端连接至该等探针或该印刷电路板之电极,该柔性印刷电路板电连接该等探针与该印刷电路板之电极。图式简单说明:图1系一根据本发明之一具体实施例之一探针卡之横截面图。图2系一根据本发明之具体实施例之一探针头之透视图。图3系一根据具体实施例之探针卡之透视图。图4A至4C系若干透视图,其表示根据本发明之若干具体实施例之探针基座及探针单元。图5A1、5B1及5C1系若干横截面图,其表示根据本发明之若干具体实施例之探针单元与探针基座之联结结构之实例以及图5A2、5B2及5C2为对应于图5A1、5B1及5C1之平面图。图6A1、6B1及6C1系若干横截面图,其表示根据本发明之若干具体实施例之棵针单元与探针基座之联结结构之实例,以及图6A2、6B2及6C2为对应于图6A1、6B1及6C1平面图。图7系一根据本发明之具体实施例之一探针头之横截面图。图8A至8C系横截面图,其表示根据本发明之若干具体实施例之探针头之实例。图9A至9C系表示根据本发明之其他具体实施例之探针头之实例之横截面图。图10A与10B系一横截面图与一平面图,其表示根据具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间之电线连接状态。图11A与11B系一横截面图与一平面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图12A与12B系一横截面图与一平面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图13系一组装设备之正视图,该组装设备用于根据本发明之一具体实施例之一探针头。图14A至14C系若干示意图,其图解表示根据本发明之一具体实施例之一探针头之组装方法。图15A与15B系表示根据本发明之一具体实施例之一探针元件之横截面图与平面图。图16A与16B系一横截面图与一平面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间之电线连接状态。图17A、17B及17C系一平面图及横截面图,其表示根据本发明之若干具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间之电线连接状态。图18A与18B系一平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图19A与19B系一平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图20A至20C系若干平面图,其表示根据本发明之若干具体实施例之一支撑件之一接线模式。图21系一根据本发明之另一具体实施例之探针卡之横截面图。图22A与22B系一平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图23A与23B系一平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图24A至24C系平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。图25A与25B系一平面图与一横截面图,其表示根据本发明之另一具体实施例之一探针单元与一印刷电路板间电线连接状态。
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