| 主权项 |
1.一种图案形成方法,系具备: 描绘过程,其系经由液滴喷出手段在基板上配置使 图案形成材料分散或溶解于分散媒中的液体材料; 及 加热过程,其系以上述分散媒的沸点以上的温度来 加热配置于上述基板上的上述液体材料; 重复进行令上述描绘过程中所使用的图案形成材 料变更后描绘的描绘过程及加热过程,藉此于基板 上形成由复数种类的图案形成材料的积层膜所构 成的图案, 其特征为:使最后进行的加热过程的处理温度形成 最高。 2.一种图案形成方法,系具备: 描绘过程,其系经由液滴喷出手段在基板上配置使 由包覆被膜的微粒子所构成的图案形成材料分散 或溶解于分散媒中的液体材料;及 加热过程,其系以该分散媒的沸点以上的温度来加 热配置于上述基板上的上述液体材料; 一边改变上述描绘过程中所使用的图案形成材料 一边重复进行该描绘过程与加热过程,藉由于基板 上形成由复数种类的图案形成材料的积层膜所构 成的图案; 其特征为:在重复进行的加热过程内,最后进行的 加热过程的处理温度为上述被膜的分解温度以上 的温度,除此以外的加热过程的处理温度为上述分 散媒的沸点以上,且为未满上述被膜的分解温度的 温度。 3.如申请专利范围第1或2项之图案形成方法,其中 在上述复数种类的图案形成材料内,使对基板的密 着性最高的材料配置于最靠基板侧。 4.如申请专利范围第1或2项之图案形成方法,其中 上述图案为2种类的图案形成材料的积层膜所构成 的配线图案, 配置于基板侧的第1层的图案形成材料系由锰,铬, 镍,钛,镁,矽,钒的其中任一种金属的微粒子,或含 有上述金属的氧化物的微粒子所构成, 第2层的图案形成材料系由金,银,铜,钯,镍的其中 任一种金属的微粒子,或包含上述金属的合金微粒 子所构成。 5.如申请专利范围第1或2项之图案形成方法,其中 在描绘过程之前,藉由表面处理来控制图案形成区 域以外的基板表面的区域对使用于该描绘过程的 液体材料具有拨液性。 图式简单说明: 图1是表示本发明之图案形成方法之一例的流程。 图2是表示在基板上形成中间层的程序之一例的模 式图。 图3是表示形成于基板上的中间层用的膜之一例, 呈直线状的线的平面图。 图4是表示形成于基板上的中间层用的膜之一例, 呈断续状态的线的平面图。 图5是更具体表示在基板上配置液体材料的过程。 图6是表示将本发明的光电装置适用于电浆型显示 装置例的分解立体图。 图7是表示将本发明的光电装置适用于液晶装置例 的平面图。 图8是表示将本发明的电子机器适用于具备液晶显 示装置的携带型资讯处理装置例。 |
