| 主权项 |
1.一种用以决定叠对补偿参数的系统,包括: 一机台执行记录库,用以储存一曝光机台连续处理 复数个产品批次之记录,其中每一被处理批次对应 于一产品之一层次,且该记录至少包含一目前批次 Lk及一先前批次Lk-1之记录; 一叠对资料库,用以储存该目前批次Lk及该先前批 次Lk-1分别对应一产品A及一产品B之一叠对补偿资 料之历史纪录DA,x及DB,y,其中x及y分别表示该历史 纪录之时间序号;以及 一叠对控制装置,依据该历史纪录DA,x及DB,y决定该 目前批次Lk的一叠对补偿参数设定値。 2.如申请专利范围第1项所述之用以决定叠对补偿 参数的系统,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA,x 及DB,y分别包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1各加 工处理批次的一处理时间及一叠对补偿资料。 3.如申请专利范围第2项所述之用以决定叠对补偿 参数的系统,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA,x 及DB,y进一步包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1对 应之一产品名称、一处理层次资料、一使用罩幕 资料、及一曝光机台资料。 4.如申请专利范围第1项所述之用以决定叠对补偿 参数的系统,其中该目前批次Lk设定于时间TA,m+1处 理,而该先前批次Lk-1被处理的时间为TB,n,且该时间 TA,m+1与该时间TB,n之时间间距系小于一第一预设値 。 5.如申请专利范围第4项所述之用以决定叠对补偿 参数的系统,其中该叠对控制装置进一步撷取该产 品A最近处理的一历史纪录DA,m,且该历史纪录DA,m对 应的加工时间为TA,m,该叠对控制装置并撷取处理 时间最靠近该加工时间TA,m的一历史纪录DB,n-j,且 该历史纪录DB,n-j对应的处理时间为TB,n-j,其中该时 间TA,m及该时间TB,n-j之间的间距系小于一第二预定 値,且该时间TB,n对应于一历史纪录DB,n。 6.如申请专利范围第5项所述之用以决定叠对补偿 参数的系统,其中该叠对控制装置进一步从该叠对 资料库中分别撷取该些历史纪录DA,m、DB,n、及DB,n- j对应之复数个叠对补偿参数OA,m、OB,n、及OB,n-j,, 并依据该些叠对补偿参数OA,m、OB,n、及OB,n-j决定 该目前批次Lk对应之该叠对补偿参数设定値。 7.一种用以决定叠对补偿参数的方法,包括: 提供一曝光机台连续处理多批次在制品之一记录, 其中每一被处理批次对应于一产品之一层次,且该 记录至少包含一目前批次Lk及一先前批次Lk-1之记 录; 提供该目前批次Lk及该先前批次Lk-1对应一产品A及 一产品B之一叠对补偿资料之历史纪录DA,x及DB,y,其 中x及y分别表示该历史纪录之时间序号;以及 依据该历史纪录DA,x及DB,y决定该目前批次Lk的一叠 对补偿参数设定値。 8.如申请专利范围第7项所述之用以决定叠对补偿 参数的方法,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA,x 及DB,y分别包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1各加 工处理批次的一处理时间及一叠对补偿资料。 9.如申请专利范围第8项所述之用以决定叠对补偿 参数的方法,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA,x 及DB,y进一步包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1对 应之一产品名称、一处理层次资料、一使用罩幕 资料、及一曝光机台资料。 10.如申请专利范围第7项所述之用以决定叠对补偿 参数的方法,其中该目前批次Lk设定于时间TA,m+1处 理,该先前批次Lk-1被处理的时间为TB,n,且该方法进 一步包括确认该时间TA,m+1与该时间TB,n之时间间距 是否小于一第一预设値。 11.如申请专利范围第10项所述之用以决定叠对补 偿参数的方法,进一步包括: 撷取该产品A最近处理的一历史纪录DA,m,其中该历 史纪录DA,m对应的加工时间为TA,m; 撷取处理时间最靠近该加工时间TA,m的一历史纪录 DB,n-j,其中该历史纪录DB,n-j对应的处理时间为TB,n-j ;以及 确认该时间TA,m及该时间TB,n-j之间的间距是否小于 一第二预定値。 12.如申请专利范围第11项所述之用以决定叠对补 偿参数的方法,其中该时间TB,n对应于一历史纪录DB ,n,且该方法进一步包括当该时间TA,m及该时间TB,n-j 之间的间距小于该第二预定値时,从一叠对资料库 中分别撷取该些历史纪录DA,m、DB,n、及DB,n-j对应 之复数个叠对补偿参数OA,m、OB,n、及OB,n-j,并依据 该些叠对补偿参数OA,m、OB,n、及OB,n-j来决定该目 前批次Lk对应之该叠对补偿参数设定値。 13.如申请专利范围第7项所述之用以决定叠对补偿 参数的方法,进一步包括提供该目前批次Lk之在制 品,于提供该曝光机台连续处理多批次在制品之该 记录之前。 14.如申请专利范围第7项所述之用以决定叠对补偿 参数的方法,进一步包括依据该目前批次Lk的该叠 对补偿参数设定値,处理该目前批次Lk的在制品。 15.一种用以决定叠对补偿参数的方法,包括: 提供一曝光机台连续处理多批次在制品之一记录, 其中每一被处理批次对应于一产品之一层次,且该 记录至少包含一目前批次Lk及一先前批次Lk-1之记 录,其中该目前批次Lk设定于时间TA,m+1处理,该先前 批次Lk-1被处理的时间为TB,n,且该时间TA,m+1与该时 间TB,n之时间间距小于一第一预设値; 提供该目前批次Lk及该先前批次Lk-1对应一产品A及 一产品B之一叠对补偿资料之历史纪录DA,x及DB,y,其 中x及y分别表示该历史纪录之时间序号; 撷取该产品A最近处理的一历史纪录DA,m,其中该历 史纪录DA,m对应的加工时间为TA,m; 撷取处理时间最靠近该加工时间TA,m的一历史纪录 DB,n-j,其中该历史纪录DB,n-j对应的处理时间为TB,n-j 且该时间TA,m及该时间TB,n-j之间的间距小于一第二 预定値; 从一叠对资料库中分别撷取该些历史纪录DA,m、DB, n及DB,n-j对应之复数个叠对补偿参数OA,m、OB,n及OB,n -j,并依据该些叠对补偿参数OA,m、OB,n及OB,n-j来决 定该目前批次Lk对应之一叠对补偿参数设定値;以 及 依据该目前批次Lk的该叠对补偿参数设定値,处理 该目前批次Lk的在制品。 16.如申请专利范围第15项所述之用以决定叠对补 偿参数的方法,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA, x及DB,y分别包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1各 加工处理批次的一处理时间及一叠对补偿资料。 17.如申请专利范围第15项所述之用以决定叠对补 偿参数的方法,其中该叠对补偿资料之历史纪录DA, x及DB,y进一步包含该目前批次Lk及该先前批次Lk-1 对应之一产品名称、一处理层次资料、一使用罩 幕资料、及一曝光机台资料。 18.如申请专利范围第15项所述之用以决定叠对补 偿参数的方法,进一步包括提供该目前批次Lk之在 制品,于提供该曝光机台连续处理多批次在制品之 该记录之前。 图式简单说明: 第1图显示依据本发明实施例之具有决定叠对补偿 参数之曝光制程设备的示意图。 第2图显示依据本发明实施例之曝光制程设备处理 产品批次的示意图。 第3图显示依据本发明实施例之叠对资料的储存结 构的示意图。 第4图显示依据本发明实施例决定叠对补偿参数方 法的流程图。 第5图显示第4图中所使用的叠对资料记录示意图 。 第6图显示第5图中各叠对记录对应处理时间及机 台对准偏差的示意图。 |
