发明名称 Verfahren zum Überwachen eines CMP-Polierverfahrens und Anordnung zur Durchführung eines CMP-Polierverfahrens
摘要
申请公布号 DE102004058133(B4) 申请公布日期 2006.11.09
申请号 DE200410058133 申请日期 2004.12.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 RUDOLPH, CATHARINA;LOEBMANN, ANDRE;DRUMMER, HEIKE;THALDORF, CHRISTIAN
分类号 B24B49/00;H01L21/302 主分类号 B24B49/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利