摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verdampferschiffchen aus einem elektrisch leitfähigen keramischen Trägermaterial für die Bedampfung von Substraten mit Metallen, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberfläche des Verdampferschiffchens, von der die Verdampfung der Metalle erfolgt, eine der folgenden Beschichtungen vorgesehen ist: DOLLAR A a) eine Beschichtung mindestens eines Borids eines Übergangsmetalls der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems, DOLLAR A b) eine Beschichtung aus einer Mischung des zu verdampfenden Metalls und mindestens einem Übergangsmetall der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems und/oder deren Boriden, DOLLAR A c) eine erste Beschichtung aus mindestens einem Übergangsmetall der 4. bis 6. Nebengruppe des Periodensystems und/oder deren Boriden und eine darauf aufgebrachte Beschichtung aus dem zu verdampfenden Metall. DOLLAR A Die erfindungsgemäßen Verdampferschiffchen zeigen eine gute Erstbenetzung für die zu verdampfenden Metalle, so dass die Verdampfung spritzerarm und gleichmäßig durchgeführt werden kann.
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