TRANSFERMETHODE FÜR HALBLEITERSCHEIBEN UND HALTERING,申请号DE20006030968-传众专利搜索

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发明名称	TRANSFERMETHODE FÜR HALBLEITERSCHEIBEN UND HALTERING
摘要
申请公布号	DE60030968(D1)	申请公布日期	2006.11.09
申请号	DE20006030968	申请日期	2000.05.08
申请人	ASM INTERNATIONAL N.V.	发明人	KUZNETSOV, VLADIMIR IVANOVICH;OOSTERLAKEN, GERARDUS;RIDDER, GERARDUS;GRANNEMAN, HENDRIK
分类号	H01L21/00;H01L21/677	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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