摘要 |
Laser Scanning-Mikroskop, vorzugsweise mit linienförmiger Abtastung, wobei Beleuchtungslicht mit mindestens einem Galvanometerscanner über die Probe geführt wird, DOLLAR A wobei der Scanner eine mechanische Auslenkungsbegrenzung aufweist, wobei Mittel zur Bestimmung einer Stromerhöhung vorgesehen sind und bei Erreichen eines Schwellwertes die Betriebsspannung des Scanners ausgeschaltet wird, bis der Schwellwert unterschritten wird und vorteilhaft i eine optische und/oder akustische Anzeigeeinrichtung vorgesehen ist, die das Ein- und Ausschalten des Scanners anzeigt.
|