离子束测量方法和离子注入装置

摘要

由经过快门(32)的一侧面(34)的外侧同时通过前台快门驱动装置(36)在y方向驱动前台束限制快门(32)，测量入射到前台多点法拉第(24)上的离子束(4)的束流的变化，从而在前台束限制快门(32)的位置在离子束(4)的y方向计算束流密度分布。由经过快门(42)的一侧面(44)的外侧同时通过后台快门驱动装置(46)在y方向驱动后台束限制快门(42)，测量入射到后台多点法拉第(28)上的离子束(4)的束流的变化，从而在前台束限制快门(42)的位置在离子束(4)的y方向计算束流密度分布。另外，通过测量的结果来测量离子束(4)的y方向的角偏移、发散角和束尺寸的至少一个。

主权项

1、一种在离子注入装置中进行的测量离子束方法，所述离子注入装置用于通过在x方向平行地扫描离子束而将离子束辐射到目标，所述离子注入装置包括：分别于所述目标的上游侧和下游侧的前台多点法拉第和后台多点法拉第，所述两个法拉第分别由多个用于在平行于所述x方向测量离子束的束流的探测器构成，所述离子注入装置还包括：设置在前台多点法拉第的上游侧附近的前台束限制快门，能够阻挡离子束且具有与x方向平行的一侧面；用于在垂直于x方向的y方向上驱动前台束限制快门的前台快门驱动装置；设置于后台多点法拉第的上游侧的附近的后台束限制快门，能够阻挡离子束且具有与x方向平行的一侧面；和用于在y方向驱动后台束限制快门的后台快门驱动装置，所述方法包括：前台束流密度分布测量步骤，所述步骤由经过前台束限制快门的所述侧面的外侧同时通过前台快门驱动装置在y方向驱动前台束限制快门，测量入射到前台多点法拉第上的离子束的束流的变化，从而计算在前台束限制快门的位置在离子束的y方向的束流密度分布；前台中心位置计算步骤，所述步骤从在前台束流密度分布测量步骤计算的束流密度分布，计算在前台束限制快门的位置在离子束的y方向上的中心位置ycf；后台束流密度分布测量步骤，所述步骤由经过后台束限制快门的所述侧面的外侧同时通过后台快门驱动装置在y方向驱动后台束限制快门，测量入射到后台多点法拉第上的离子束的束流的变化，从而计算在后台束限制快门的位置在离子束的y方向的束流密度分布；后台中心位置计算步骤，所述步骤从在后台束流密度分布测量步骤计算的束流密度分布，计算在后台束限制快门的位置在离子束的y方向的中心位置ycb；以及角偏移计算步骤，所述步骤基于以下的等式或数学上与其等同的等式，通过使用在前台中心位置计算步骤计算的中心位置ycf、在后台中心位置计算步骤计算的中心位置ycb和前台束限制快门和后台束限制快门之间的距离L，计算在离子束的y方向的角偏移θy θy＝tan-1{(ycb-ycf)/L}。