用于平板超薄玻璃研磨工序的装载取出装置及其方法

摘要

本实用新型涉及一种用于平板超薄玻璃研磨工序的装载取出装置及其方法，装载取出装置包括表面带有气孔能对平板玻璃基板实现真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构、利用伺服电机驱动真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构实现装载和取出平板玻璃基板的装置，在真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构中，在工作台与平板玻璃间含有承载平板玻璃基板的疏松微孔刚性材料来作为垫块，由于微孔陶瓷垫块的使用，可以实现玻璃板的自动装载取出，提高了工作效率，减少加工缺陷，保证了质量，特别是针对于面积在1M²以上超薄玻璃板，节省大量劳动。

主权项

1、一种用于平板超薄玻璃研磨工序的装载取出装置，包括表面带有气孔并能对平板玻璃基板实现真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构、利用伺服电机驱动真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构实现装载和取出平板玻璃基板的装置，其特征在于：在真空吸附和压力空气悬浮的工作台机构中，在工作台与平板玻璃之间含有承载平板玻璃基板的疏松微孔刚性材料用来作为垫块。