发明名称 Alignment method and device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1338924(B1) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP20030250891 申请日期 2003.02.13
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BEST, KEITH;FRIZ, ALEX;CONSOLINI, JOE;VAN BUEL, HENRICUS WILHELMUS MARIA;GUI, CHENG-QUN
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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