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发明名称
摘要
申请公布号	JP3841945(B2)	申请公布日期	2006.11.08
申请号	JP19970296960	申请日期	1997.10.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/02	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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