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发明名称
摘要
申请公布号
JP3841897(B2)
申请公布日期
2006.11.08
申请号
JP19960305958
申请日期
1996.10.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L27/08;H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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