发明名称
摘要
申请公布号 JP3841897(B2) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 JP19960305958 申请日期 1996.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L27/08;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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