湿式处理装置

摘要

一种湿式处理装置(1)，具有由处理部(11)、将处理液导入的处理液导入部(21)、回收处理液的处理液回收部(31)构成的喷嘴(1a)，其特征是，在处理液导入部(21)中，具有处理液流通路(23)、(24)、被连接在各处理液流通路(23)、(24)的下游侧并且同时在对置面(11a)侧具有开口部(22)的处理液流通配管(25)、被配置于处理液流通路(23)、(24)和处理液流通配管(25)之间，并使选自处理液流通路(23)、(24)中的1个处理液流通路连接在处理液流通配管(25)上的切换机构(26)。通过在装置内部设置切换机构，可以在多个喷嘴间同时并且瞬时地进行处理液的切换。

主权项

1.一种湿式处理装置，具备由具有与被处理物对置的对置面的处理部、将处理液导入该被处理物和所述对置面之间的空间中并与所述处理部的一侧相邻的处理液导入部、从所述空间回收处理液并与所述处理部的另一侧相邻的处理液回收部构成的喷嘴，其特征是，在所述处理液导入部中，具有以下部分，即，2个以上供给用的处理液流通路、被连接在各处理液流通路的下游侧，同时，在所述空间侧具有开口部的1个供给用的处理液流通配管、被配置于所述处理液流通路和所述处理液流通配管之间的导入用的切换机构，所述导入用的切换机构是使选自所述2个以上供给用的处理液流通路中的1个处理液流通路连接在所述处理液流通配管上的导入用的切换机构。