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发明名称 APPARATUS AND METHOD RELATING TO CHARGED PARTICLES
摘要
申请公布号 EP1090411(B1) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP19990926600 申请日期 1999.06.15
申请人 SUPERION LIMITED 发明人 AITKEN, DEREK
分类号 H01J37/317;H01J49/00;H01J49/20;H01J49/30;H01J49/32 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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