一种调节气膜双向刚度的气浮支座

摘要

本发明是一种调节气膜双向刚度的气浮支座，包括若干个压缩气体腔和若干个真空气体腔、压缩气体腔包括与气浮支座底面相通的出气孔和若干个排气孔，出气孔分别与进气通道相连；真空气体腔包括与气浮支座底面相通的抽气孔。抽气孔分别与抽气通道相连；气浮支座底面具有排气孔，排气孔与气浮支座上的排气通道相连通。本发明同时用到压缩气体和真空抽气控制气浮的技术。使气浮支座具备同时调节供气压力和真空吸力，实现双向调节气膜刚度，提供一个稳定的气浮支座。

主权项

1、一种调节气膜双向刚度的气浮支座，其特征在于：气浮支座包括若干个压缩气体腔和若干个真空气体腔，压缩气体腔中有与气浮支座底面相通的若干个出气孔，真空气体腔中有与气浮支座底面相通的若干个抽气孔，出气孔与气浮支座上的进气通道连通，抽气孔与气浮支座上的抽气通道连通；气浮支座底面具有若干个排气孔，排气孔与气浮支座上的排气通道相连通。