一种用于强电场测量的无天线光电集成传感器

摘要

本发明涉及一种用于强电场测量的无天线光电集成传感器，属于高电压测量技术领域。采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，在互相平行的两段光波导中的一段的上方设置一个电极，电极的宽度与光波导宽度之比为：2～30∶1，电极的长度与光波导长度之比为1～0.05∶1。本发明的光电集成传感器，可以满足强电场(大于200kV/m)的测量；不仅可以测量强电场信号的幅值，还可以用于测量电场的频率、相位等信息；光电集成传感器中金属元件尺寸较少，对被测电场的影响很小，因此位置分辨能力强。传感器中采用光波导进行信号传输，无需使用电源就可以实现测量，因此非常适合高电压区域的测量；响应速度快、灵敏度高，因此大大提高了测量频率范围和响应速度。

主权项

1、一种用于强电场测量的无天线光电集成传感器，其特征在于采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，在互相平行的两段光波导中的一段的上方设置一个电极。