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发明名称
摘要
申请公布号 JP3842447(B2) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 JP19980230520 申请日期 1998.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/56 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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