| 发明名称 | 监视材料处理系统的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种监视材料处理系统的改进设备和方法，其中该材料处理系统包括一个处理工具、若干和该处理工具耦接的用于产生并发送状态数据的RF敏感状态传感器，以及一个配置成从该多个RF敏感状态传感器接收状态数据的传感器接口组件(SIA)。 | ||
| 申请公布号 | CN1860600A | 申请公布日期 | 2006.11.08 |
| 申请号 | CN200380104226.6 | 申请日期 | 2003.11.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 詹姆斯·E·克莱考特卡 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王萍 |
| 主权项 | 1.一种材料处理系统，包括：一个处理工具，其中该处理工具包括至少一个处理室；多个和该处理工具耦接的RF敏感状态传感器，一个RF敏感状态传感器配置成为该处理工具生成状态数据和发送该状态数据；以及一个配置成从至少一个RF敏感状态传感器接收状态数据的传感器接口组件(SIA)。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||