光纤微电子机械系统压力传感器及其复用装置

摘要

光纤微电子机械系统压力传感器及其复用装置主要用于绝对、相对压力的测量，所述传感器中端面抛光的光纤(13)的抛光端面与硼硅玻璃衬底(12)相接，其连接面的外端由光固化环氧树脂(16)连接；在硼硅玻璃衬底上为单晶硅膜(14)，在单晶硅膜的下部与硼硅玻璃衬底之间设有一个空腔即：法布里—珀罗腔(15)。其复用结构宽带光源(1)和可调谐滤波器控制器(4)与控制可调谐滤波器(2)相接，可调谐滤波器的输出端与阵列波导光栅(3)相接，阵列波导光栅的输出端通过光纤适配器(5)、光单向隔离器(7)、光纤耦合器(6)分别接光电探测器、传感器，通过检测传感器的法布里—珀罗腔的腔长的变化测量单晶硅膜受到的压力大小。

主权项

1、一种光纤微电子机械系统压力传感器，其特征在于所述传感器包括：硼硅玻璃衬底(12)、端面抛光的光纤(13)、单晶硅膜(14)、法布里—珀罗腔(15)、光固化环氧树脂(16)；其中端面抛光的光纤(13)的抛光端面与硼硅玻璃衬底(12)相接，其连接面的外端由光固化环氧树脂(16)连接；在硼硅玻璃衬底(12)上为单晶硅膜(14)，在单晶硅膜(14)中央的下部与硼硅玻璃衬底(12)之间设有一个空腔即：法布里—珀罗腔(15)，在单晶硅膜(14)中央的上部设有一个截面形状为梯形的凹坑。