衬底保持装置、衬底处理设备以及释放衬底的方法

摘要

一种衬底处理设备中的衬底保持装置，包括固定台，它具有一抽吸管和供气管；以及具有用来真空保持衬底的大气流通道的保持元件。保持元件被安置在固定台上。抽吸管通过一管子与压缩机相连，供气管通过管子和电磁线与气体供气部件相连。当衬底保持装置保持住衬底时，压缩机通过抽吸管抽吸大气，使保持元件真空保持住该衬底。当衬底保持装置释放衬底时，在通过抽吸管继续抽吸大气的同时，打开电磁阀通过供气管从气体供气部件供应一种气体。该衬底保持装置和衬底处理设备可抑制颗粒淀积在衬底上。

主权项

1.一种用于保持衬底的衬底保持装置，包括：保持元件，其具有用来保持所述衬底的大气流通道；抽吸管，用来通过所述大气流通道抽吸大气；供气管，用来通过所述大气流通道供给预定气体；其中当从所述保持元件释放衬底时，通过所述供气管供给所述预定气体，同时通过所述抽吸管抽吸所述大气，所述预定气体的供气速率不小于所述大气的抽吸速率。