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发明名称 METHOD FOR PRODUCING A CAPACITOR
摘要
申请公布号 EP1464077(B1) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP20030706355 申请日期 2003.01.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DAHL, CLAUS;STAHRENBERG, KNUT;WILBERTZ, CHRISTOPH
分类号 H01L21/02;H01L21/285;H01L27/08;H01L29/94 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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