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发明名称
METHOD OF PRODUCING AN INTERCONNECT STRUCTURE FOR AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
EP1101247(B1)
申请公布日期
2006.11.08
申请号
EP19990932210
申请日期
1999.07.01
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
NAIK, MEHUL;BROYDO, SAMUEL
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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