曝光掩模板装置

摘要

本实用新型涉及一种曝光掩模板装置。包括胶带，掩模板，玻璃板，掩模板四周通过胶带与玻璃板连接，其特点是，玻璃板的边缘开有小孔，小孔内安放管子，管子的另一端与真空装置连接。玻璃板与管子之间密封连接。采用管子一端与玻璃板密封连接，另一端与抽真空装置相连，在生产过程中，始终保持抽真空状态，即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，曝光掩模板也不会下垂，有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。

主权项

1.一种曝光掩模板装置，包括胶带(1)，掩模板(2)，玻璃板(3)，掩模板(2)四周通过胶带(1)与玻璃板(3)连接，其特征在于，所述玻璃板(3)的边缘开有小孔，小孔内安放管子(4)，所述管子(4)的另一端与真空装置连接。