气体放电MOPA激光光谱分析模块

摘要

一种用于高重复率气体放电激光器的光谱分析模块，用于以4000Hz和4000Hz以上的脉冲重复率在脉冲到脉冲的基础上测量带宽，所述气体放电激光器具有能量大于或等于每脉冲15mJ的脉冲输出光束、飞米带宽精度和数十飞米带宽精度范围的亚纳米带宽调谐范围脉冲的脉冲，该光谱分析模块包括：在所述激光输出路径中的分束器，所述分束器定位在降低入射能量密度的角度，并在激光器输出光束的第一部分中建立重叠菲涅耳反射；容许由所述第一部分中的所述反射建立的能量密度的副分束器，该副分束器反射大部分的所述第一部分并让输出光束的第二部分通过；把所述第二部分缩小到第一漫射器(22)上的望远镜光学部件(204，220)，所述缩小被选择成使所述第二部分中重叠的菲涅耳反射中的能量密度低于所述第一漫射器的损坏阈。

主权项

1、一种用于具有激光器输出光束的高重复率气体放电激光器的包括波长计的光谱分析模块，用于以4000Hz和4000Hz以上的脉冲重复率在脉冲到脉冲的基础上测量带宽，所述激光器输出光束包括大于或等于每脉冲15mJ的脉冲输出、具有飞米带宽精度和数十飞米带宽精度范围的亚纳米带宽调谐范围脉冲，所述光谱分析模块包括：在气体放电激光器的激光器输出光束的路径中操作成让输出光束的大多数通过和反射输出光束的第一小部分的主分束器，所述主分束器朝向充分降低主分束器上的能量密度的角度，并在激光器输出光束的第一小部分中建立重叠菲涅耳反射；由损坏阈充分高到容许输出激光光束的第一小部分中的菲涅耳反射的重叠部分建立的能量密度的材料制成的副分束器，所述副分束器让输出激光光束的第一小部分的大多数反射并让输出激光光束的第二小部分通过；在输出光束的第二小部分的路径中操作成把输出光束的第二小部分缩小到接收缩小的输出激光光束的第二小部分的第一级漫射器上的望远镜光学部件，所述缩小被选择成使输出激光光束的第二小部分中重叠的菲涅耳反射中的能量密度低于第一级漫射器的损坏阈。