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经营范围
发明名称
Apparatus of cleaning the semiconductor device and method of using the same
摘要
申请公布号
KR100642390(B1)
申请公布日期
2006.11.03
申请号
KR20050028288
申请日期
2005.04.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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