发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 KR100642175(B1) 申请公布日期 2006.11.03
申请号 KR20040052156 申请日期 2004.07.06
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;H01J37/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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