Verfahren zum Feinpolieren/-strukturieren wärmeempfindlicher dielektrischer Materialien mittels Laserstrahlung

摘要

Zum Feinpolieren/-strukturieren wärmeempfindlicher dielektrischer Materialien, insbesondere mit einem geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten, mittels Laserstrahlung wird erfindungsgemäß ein Verfahren angegeben, bei dem intensive ultrakurze Laserstrahlung auf eine zu bearbeitende Oberfläche des Materials gerichtet wird und die Einwirkzeit der Laserstrahlung auf die Oberfläche im Bereich von 10·-13·s bis 10·-11·s und die Energie der Laserimpulse unterhalb der Ablationsschwelle aber ausreichend für das Entstehen einer Coulombexplosion eingestellt wird. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Materialabtrag im Nanometerbereich mit ultrakurzen Laserpulsen im Pikosekunden- und Subpikosekunden-Bereich realisiert, wobei während eines präablativen Verfahrensschritts (Abtrag unterhalb der Ablationsschwelle) die Materialoberfläche fein poliert wird. Aufgrund der extrem kurzen Einwirkzeit der Laserstrahlung auf die zu bearbeitende Oberfläche findet eine sehr kleine Erwärmung statt, die nur im Bereich von einigen 10 Grad liegt.