发明名称 Keimschichtreparatur und Elektroplattierungsbad
摘要
申请公布号 DE60123189(D1) 申请公布日期 2006.11.02
申请号 DE2001623189 申请日期 2001.10.12
申请人 SHIPLEY CO. 发明人 MIKKOLA, ROBERT D.;CALVERT, JEFFREY M.
分类号 C25D3/00;C25D3/38;C23C18/38;C25D3/02;C25D5/48;C25D5/52;C25D7/12;C25D11/32;H01L21/288;H01L21/768 主分类号 C25D3/00
代理机构 代理人
主权项
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