发明名称 |
Keimschichtreparatur und Elektroplattierungsbad |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60123189(D1) |
申请公布日期 |
2006.11.02 |
申请号 |
DE2001623189 |
申请日期 |
2001.10.12 |
申请人 |
SHIPLEY CO. |
发明人 |
MIKKOLA, ROBERT D.;CALVERT, JEFFREY M. |
分类号 |
C25D3/00;C25D3/38;C23C18/38;C25D3/02;C25D5/48;C25D5/52;C25D7/12;C25D11/32;H01L21/288;H01L21/768 |
主分类号 |
C25D3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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