ZUSAMMENSETZUNG ZUR ENTFERNUNG VON RÜCKSTÄNDEN BEI DER HALBLEITERHERSTELLUNG AUF BASIS VON ETHYLENDIAMINTETRAESSIGSÄURE ODER IHREM AMMONIUMSALZ SOWIE VERFAHREN,申请号DE19986035951-传众专利搜索

发明名称	ZUSAMMENSETZUNG ZUR ENTFERNUNG VON RÜCKSTÄNDEN BEI DER HALBLEITERHERSTELLUNG AUF BASIS VON ETHYLENDIAMINTETRAESSIGSÄURE ODER IHREM AMMONIUMSALZ SOWIE VERFAHREN
摘要
申请公布号	DE69835951(D1)	申请公布日期	2006.11.02
申请号	DE19986035951	申请日期	1998.03.17
申请人	EKC TECHNOLOGY INC.	发明人	LEE, MUN;CHEN, JESSIE
分类号	C11D7/26;B08B3/08;B24B37/04;C09D9/00;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/34;C11D3/43;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;C11D11/00;C23G1/10;C23G1/20;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768	主分类号	C11D7/26
代理机构		代理人
主权项
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