| 发明名称 |
Method and apparatus for depositing films of refractory metal oxides and refractory metals |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3208873(A) |
申请公布日期 |
1965.09.28 |
| 申请号 |
US19620164533 |
申请日期 |
1962.01.05 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
AMES IRVING;SIMMONS ROYCE G. |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/14;C23C16/06 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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